計測分析技術基本マップ
分析特性分類 |
分析対象/プローブ |
電場 |
磁場 |
X線 |
光 |
電磁波 |
イオン・原子 |
電子 |
メカニカルプローブ |
その他 |
A |
B |
C |
D |
E |
F |
G |
H |
I |
構造的特性 |
結晶構造 |
1 |
A1 |
B1 |
C1 |
D1 |
E1 |
F1 |
G1 |
H1 |
I1 |
組成・不純物 |
2 |
A2 |
B2 |
C2 |
D2 |
E2 |
F2 |
G2 |
H2 |
I2 |
化学結合 |
3 |
A3 |
B3 |
C3 |
D3 |
E3 |
F3 |
G3 |
H3 |
I3 |
欠陥(密度、準位) |
4 |
A4 |
B4 |
C4 |
D4 |
E4 |
F4 |
G4 |
H4 |
I4 |
密度・空孔度 |
5 |
A5 |
B5 |
C5 |
D5 |
E5 |
F5 |
G5 |
H5 |
I5 |
機械的特性 |
歪・ストレス |
6 |
A6 |
B6 |
C6 |
D6 |
E6 |
F6 |
G6 |
H6 |
I6 |
硬度 |
7 |
A7 |
B7 |
C7 |
D7 |
E7 |
F7 |
G7 |
H7 |
I7 |
形状的特性 |
形状 |
8 |
A8 |
B8 |
C8 |
D8 |
E8 |
F8 |
G8 |
H8 |
I8 |
サイズ・膜厚 |
9 |
A9 |
B9 |
C9 |
D9 |
E9 |
F9 |
G9 |
H9 |
I9 |
素材物性 |
電気特性 |
10 |
A10 |
B10 |
C10 |
D10 |
E10 |
F10 |
G10 |
H10 |
I10 |
磁気特性 |
11 |
A11 |
B11 |
C11 |
D11 |
E11 |
F11 |
G11 |
H11 |
I11 |
光学特性 |
12 |
A12 |
B12 |
C12 |
D12 |
E12 |
F12 |
G12 |
H12 |
I12 |