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( A3 ) プローブ：電場、　分析対象：化学結合

分析手法 略号 分析原理 得られる情報 分析感度・スペック 適用例
電界イオン顕微鏡法
(Field Ion Microscopy)
[3次元アトムプローブ法の詳細説明にリンクします]		 FIM 針状の試料先端に正の高電界を印加して結像ガスをイオン化、そのイオンを対面する MCP（マイクロチャネルプレート）で結像することにより、試料先端部の原子像を得る ・固体材料の表面構造、結晶構造 測定領域：先端径＜100 nm の針状試料先端部
空間分解能： 単原子レベルで観察可能 		・合金の微細構造
・表面吸着物の観察