( F3 ) プローブ:イオン・原子、分析対象:化学結合
分析手法 | 略号 | 分析原理 | 得られる情報 | 分析感度・スペック | 適用例 |
飛行時間型二次イオン質量分析法 (Time-of-Flight Secondary Ion Mass Spectrometry) |
TOF-SIMS | 固体表面にパルスイオンを照射し、放出された二次イオンの飛行時間と量から表面を構成する原子、分子種を同定する |
・固体表面の原子・分子種 ・原子・分子種の面内分布 ・原子・分子種の深さ方向分布 |
分解能:100nm 検出下限:ppm程度 分析深さ:<1nm |
・基板や配線表面の汚染原子,分子評価 ・微小領域の原子,分子分析 ・微小領域の原子,分子種の面内分布 ・ゲート絶縁膜の深さ方向分析 |