( F3 ) プローブ:イオン・原子、分析対象:化学結合

分析手法 略号 分析原理 得られる情報 分析感度・スペック 適用例
飛行時間型二次イオン質量分析法
(Time-of-Flight Secondary Ion Mass Spectrometry)
TOF-SIMS 固体表面にパルスイオンを照射し、放出された二次イオンの飛行時間と量から表面を構成する原子、分子種を同定する ・固体表面の原子・分子種
・原子・分子種の面内分布
・原子・分子種の深さ方向分布
分解能:100nm
検出下限:ppm程度
分析深さ:<1nm
・基板や配線表面の汚染原子,分子評価
・微小領域の原子,分子分析
・微小領域の原子,分子種の面内分布
・ゲート絶縁膜の深さ方向分析