( H9 ) プローブ:メカニカル・プローブ、分析対象:サイズ・膜厚

分析手法 略号 分析原理 得られる情報 分析感度・スペック 適用例
原子間力顕微鏡
(Atomic Force Microscopy)
AFM 試料に対して探針を走査し、これらの間に働く原子間力をカンチレバーの変位として検出し三次元形状を得る ・ナノスケール3次元形状
・表面粗さの定量
測定エリア:500nm×500nm ~
分解能:
<0.1nm@垂直方向
<10nm@水平方向
・半導体基板の表面粗さ評価
・薄膜の表面粗さ評価
・MEMS の形状評価