![[TSC]つくば半導体コンソーシアム](/img/map_image.jpg)
略号対応表
略号の正式名称は、できるだけJISに準拠した分析名称に統一してあります。JISにない場合は、 学会などで使用されている用語を用いています。
| 略 号 | ||||
| 3 |
3DAP 3次元アトムプローブ法 (3 Dimensional Atom Probe) |
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| A |
AAS 原子吸光分光分析法 (Atomic Absorption Spectrometry) |
AES, SAM オージェ電子分光法 (Auger Electron Spectroscopy) |
AFM 原子間力顕微鏡 (Atomic Force Microscope) |
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ARAES 角度分解オージェ電子分光法 (Angle-resolved Auger Electron Spectroscopy) |
ARXPS 角度分解X線励起光電子分光法 (Angle Resolved X-ray Photoelectron Spectroscopy) |
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| C |
CBED 収束電子線回折法 (Convergent Beam Electron Diffraction) |
CL カソードルミネッセンス法 (Cathodeluminescence Spectroscopy) |
CLSM, CMS 共焦点走査型レーザー顕微鏡法 (Confocal Laser Scanning Microscopy)， 共焦点顕微鏡法 (Confocal Microscopy) |
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Cs-corrected TEM/STEM 収差補正 TEM / STEM (Aberration-corrected TEM and STEM imaging) |
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| E |
EBIC 電子線励起電流法 (Electron Beam Induced Current) |
EBAC 電子ビーム吸収電流法 (Electron Beam Absorbed Current Method) |
EBSD, EBSP 電子線後方散乱回折法 (Electron Backscatter Diffraction)， 電子後方散乱パターン (Electron BackScattering Pattern) |
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EDX, EDS エネルギー分散X線分光法 (Energy Dispersive X-ray Spectroscopy) |
EELS 電子エネルギー損失分光法 (Electron Energy Loss Spectroscopy) |
EM, SE エリプソメトリ法 (Ellipsometry)， 分光エリプソメトリ法 (Spectroscopic Ellipsometry) |
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EPMA 電子プローブ微小分析法 (Electron Probe Micro Analysis) |
ESR, EPR 電子スピン共鳴分析法 (Electron Spin Resonance), 電子常磁性共鳴分析法 (Electron Paramagnetic Resonance) |
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| F |
FEM 電界放射顕微鏡法 (Field Emission Microscopy) |
FIB 集束イオンビーム法 (Focused Ion Beam) |
FIM 電界イオン顕微鏡法 (Field Ion Microscopy) |
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FTIR フーリエ変換赤外分光法 (Fourier Transform Infrared Spectroscopy) |
PAS, FTIR-PAS 光音響分光法 (Photoacoustic Spectroscopy), フーリエ変換赤外光音響分光法 (Fourier Transform Infrared Photoacoustic Spectroscopy) |
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| G |
GC/MS ガスクロマトグラフ質量分析法 (Gas Chromatography/Mass Spectrometry) |
GDMS グロー放電質量分析法 (Glow Discharge Mass Spectrometry) |
GD-OES, GDS グロー放電発光分光分析法 (Glow Discharge Optical Emission Spectrometry， Glow Discharge Spectroscopy) |
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| I |
IC イオンクロマトグラフ法 (Ion Chromatography) |
ICP-MS 誘導結合プラズマ質量分析法 (Inductively Coupled Plasma Mass Spectrometry) |
ICP-OES, ICP-AES 誘導結合プラズマ発光分光分析法 (Inductively Coupled Plasma Optical Emission Spectrometry, Inductively Coupled Plasma Atomic Emission Spectrometry) |
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IR-OBIRCH 赤外レーザ照射加熱抵抗変化検出法 (Infrared Optical Beam Induced Resistance Change) |
IM イオンミリング法 (Ion Milling Method) |
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| L |
LEED 低速電子線回折法 (Low Energy Electron Diffraction) |
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| M |
RBS, MEIS(HR-RBS) ラザフォード後方散乱分析法 (Rutherford Backscattering Spectrometry) 中速イオン散乱分光法 (Medium Energy Ion Scattering Spectroscopy) (High-Resolution Rutherford Backscattering Spectrometry) |
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| N |
NBED, NBD ナノビーム電子回折法 (Nano Beam Electron Diffraction)， ナノビーム回折法 (Nano Beam Diffraction) |
NP ナノプローバ (Nano Prober) |
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| O |
OM 光学顕微鏡法 (Optical Microscopy) |
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| P |
PALM, STORM, GSD ローカライゼーション顕微鏡 (Super Localization Microscope) |
PAS 陽電子消滅法 (Positron Annihilation Spectroscopy) |
PAS, FTIR-PAS 光音響分光法(Photoacoustic Spectrometry)， フーリエ変換赤外光音響分光法(Fourier Transform Infrared Photoacoustic Spectrometry) |
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PEM エミッシヨン顕微鏡法 (Photo Emission Microscopy) |
PL フォトルミネッセンス法 (Photoluminescence Spectroscopy) |
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| R |
Raman ラマン分光法 (Raman Scattering Spectroscopy) |
Raman ラマン分光法（歪計測） (Raman Spectroscopy for strain measurements) |
RBS, MEIS(HR-RBS) ラザフォード後方散乱分析法 (Rutherford Backscattering Spectrometry) 中速イオン散乱分光法 (Medium Energy Ion Scattering Spectroscopy) (High-Resolution Rutherford Backscattering Spectrometry) |
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| S |
AES, SAM オージェ電子分光法 (Auger Electron Spectroscopy) |
SCM 走査型静電容量顕微鏡法 (Scanning Capacitance Microscopy) |
EM, SE エリプソメトリ法 (Ellipsometry), 分光エリプソメトリ法 (Spectroscopic Ellipsometry) |
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SEM 走査量顕微鏡法 (Scanning Capacitance Microscopy) |
SIM 構造化照明顕微鏡 (Structured Illumination Microscope) |
SIMS 二次イオン質量分析法 (Secondary Ion Mass Spectrometry) |
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Solid-state NMR 固体核磁気共鳴法 (Solid-state Nuclear Magnetic Resonance Spectroscopy) |
SRA 拡がり抵抗測定法 (Spreading Resistance Analysis) |
SRM 超解像光学顕微鏡 (Super Resolution Microscope) |
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SSRM 走査型拡がり抵抗顕微鏡法 (Scanning Spreading Resistance Microscopy) |
STED 誘導放出抑制顕微鏡 (Stimulated Emission Depletion Microscope) |
STEM 走査透過電子顕微鏡法 (Scanning Transmission Electron Microscopy) |
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| T |
TDS, TDP 昇温脱離ガス分光法 (Thermal Desorption Spectrometry, Temperature Programmed Desorption) |
TEM 透過型電子顕微鏡 (Transmission Electron Microscope) |
TOF-SIMS 飛行時間型二次イオン質量分析法 (Time-of-Flight Secondary Ion Mass Spectrometry) |
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TXRF 全反射蛍光Ｘ線分析法 (Total Reflection X-ray Fluorescence, Total Reflection X-ray Fluorescence Method) |
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| U |
UPS 紫外線光電子分光法 (Ultraviolet Photoelectron Spectroscopy) |
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| V |
VA EBAC 電圧印加型電子ビーム吸収電流法 (Voltage Applied Electron Beam Absorbed Current Method) |
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| X |
XAFS X線吸収微細構造法 (X-ray Absorption Fine Structure) |
XDS X線散漫散乱法 (X-ray Diffuse Scattering) |
XPS X線光電子分光法 (X-ray Photoelectron Spectroscopy) |
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XRC X線ロッキングカーブ法 (X-ray Rocking Curve) |
XRD X線回折法 (X-ray Diffraction) |
XRF 蛍光Ｘ線分析法 (X-ray Fluorescence Analysis, Fluorescent X-ray Analysis) |
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XRR X線反射率分析法 (X-ray Reflectometry Analysis) |
XRT X線回折トポグラフ法 (X-ray Diffraction Topography) |
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| か行 |
共焦点顕微鏡とデコンボルーション 共焦点顕微鏡とデコンボルーション (Confocal Microscopy & Deconvolution) |
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| さ行 |
触針法 触針法 (Stylus Method) |
スピニングディスクタイプの 超解像顕微鏡 スピニングディスクタイプの 超解像顕微鏡 (Spinning Disc type - super resolution microscope) |
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| た行 |
電子線ホログラフィー法 電子線ホログラフィー (Electron Beam Holography, Electron Holography) |
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| ま行 |
ミクロトーム (Microtome) |
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