( H8 ) プローブ:メカニカル・プローブ、分析対象:形状
分析手法 | 略号 | 分析原理 | 得られる情報 | 分析感度・スペック | 適用例 |
原子間力顕微鏡 (Atomic Force Microscopy) |
AFM | 試料に対して探針を走査し、これらの間に働く原子間力をカンチレバーの変位として検出し三次元形状を得る |
・ナノスケール3次元形状 ・表面粗さの定量 |
測定エリア:500nm×500nm ~ 分解能: <0.1nm@垂直方向 <10nm@水平方向 |
・半導体基板の表面粗さ評価 ・薄膜の表面粗さ評価 ・MEMS の形状評価 |