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計測分析技術基本マップ

分析特性分類 分析対象/プローブ 電場 磁場 X線 光 電磁波 イオン・原子 電子 メカニカルプローブ その他
A B C D E F G H I
構造的特性 結晶構造 1 A1 B1 C1 D1 E1 F1 G1 H1 I1
組成・不純物 2 A2 B2 C2 D2 E2 F2 G2 H2 I2
化学結合 3 A3 B3 C3 D3 E3 F3 G3 H3 I3
欠陥（密度、準位） 4 A4 B4 C4 D4 E4 F4 G4 H4 I4
密度・空孔度 5 A5 B5 C5 D5 E5 F5 G5 H5 I5
機械的特性 歪・ストレス 6 A6 B6 C6 D6 E6 F6 G6 H6 I6
硬度 7 A7 B7 C7 D7 E7 F7 G7 H7 I7
形状的特性 形状 8 A8 B8 C8 D8 E8 F8 G8 H8 I8
サイズ・膜厚 9 A9 B9 C9 D9 E9 F9 G9 H9 I9
素材物性 電気特性 10 A10 B10 C10 D10 E10 F10 G10 H10 I10
磁気特性 11 A11 B11 C11 D11 E11 F11 G11 H11 I11
光学特性 12 A12 B12 C12 D12 E12 F12 G12 H12 I12