( F5) プローブ:イオン・原子、分析対象:密度・空孔度
分析手法 | 略号 | 分析原理 | 得られる情報 | 分析感度・スペック | 適用例 |
ラザフォード後方散乱分析法 (Rutherford Backscattering Spectrometry) 中速イオン散乱分光法 (Medium Energy Ion Scattering. Spectroscopy) (High-Resolution Rutherford Backscattering Spectrometry) |
RBS, MEIS (HR-RBS) |
加速したイオンを試料に照射し、固体中の原子によって散乱されたイオンを検出する(数MeV:RBS、数百keV:MEIS) |
・元素の深さ方向濃度分布測定(原子層レベル@MEIS) ・チャンネリング法により結晶軸方位、結晶性に関する情報が得られる |
深さ分解能:~1nm@MEIS 分析領域:1μm 検出下限:0.01at% |
・ゲート絶縁膜(SiON膜,high-k膜)の組成評価 ・各種薄膜の定量分析 |