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[2457] SEM観察時のリターディングノウハウについて 2016-10-27 13:35:28
お名前 : KD-FEM担当者 [メール] カテゴリー : 【計測分析技術の話題】【計測分析技術
CFカーボンファイバーを、カーボンペーストで固定し、観察しますが、SEM標準観察の0.5KV 1μAでの撮影が、一番微細に見えるのですが、リターディング機能使用しても、それよる悪く、よりファインに見える気がしません。
 どこに調整のノウハウあるか、教えてください。
 
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[2461] Re:SEM観察時のリターディングノウハウについて 2017-02-25 22:28:39
お名前 : tt カテゴリー : 【計測分析技術の話題】【計測分析技術
1μAと、電流をかなり流し過ぎている感じがしますが、差し支えなかったら、もう少し詳細な情報をいただけますでしょうか。
例えば、
・使用されているSEMの機種
・観察されたい倍率
・リターティング時の条件(加速電圧、減速電圧など)
・CFカーボンファイバーの詳細な情報。
よろしくお願い致します。

 
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[2463] Re:SEM観察時のリターディングノウハウについて 2017-03-09 13:27:03
お名前 : KD-FEM担当者 カテゴリー : 【計測分析技術の話題】【計測分析技術
>1μAと、電流をかなり流し過ぎている感じがしますが、差し支えなかったら、もう少し詳細な情報をいただけますでしょうか。
>例えば、
>・使用されているSEMの機種
>・観察されたい倍率
>・リターティング時の条件(加速電圧、減速電圧など)
>・CFカーボンファイバーの詳細な情報。
>よろしくお願い致します。
>---------------
>ご連絡有難うございます。
機種は、SU9000です。
倍率は、5万倍以上でより良く見えるようにしたい。
リターディングなしで、加速電圧2Kvより、0.5Kvがよくみえるので、更に下げる
つまり、リターディング使用でより、見えるのではと思っています。
減速電圧は、いろいろいじったので、覚えていませんが、スティグマ等が、合わなかったような気がします。この調整が、通常より難しいだけなのでしょうか?
よろしくお願いします。
 
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[2464] Re:SEM観察時のリターディングノウハウについて 2017-03-15 15:28:06
お名前 : tt カテゴリー : 【計測分析技術の話題】【計測分析技術
KD-FEM担当者様

専門家に伺ったところ以下のような返事を頂きました。

------------------

リターディングの電界が均一にかかっていない可能性があります。
試料面を平坦にし、試料台の中心付近を観察できるようにサンプリングする必要があります。
そうするとリターディング電界は均一になりますので、調整はそんなに煩雑ではなくなりますし、スティグマがあわないということはないはずです。

手順としては下記です。
①目視で構わないので試料面が平坦になるように試料を試料台にサンプリングする。~数百um程度の凹凸は問題ないはず。
 断面のように幅が小さいのはNG。試料面が傾斜しているのもNG。
②試料台の中心付近を観察する。(試料台もしくは試料エッジからなるべく離れているのがポイントです。)
③カーボンナノチューブのように導電性が高い試料の場合にはリターディングにより
 チューブ先端から放電し、像障害が発生する場合がありますが、本試料が放電するかどうかはわかりません。
 放電する場合にはリターディング電圧を下げて対応します。

まずは①②を確認して頂く必要があるかと思います。
試料の組成、材質、形状などがわかればもう少し具体的に提案できるかもしれません。
また画像を拝見させて頂ければ同じく具体的に提案できるかもしれません。
不明点あればご連絡下さい。
宜しくお願い致します。
 
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