SEMによる半導体のドーパントコントラストをシミュレーションしたいのですが、よいソフトはないでしょうか。

SEM像の輝度からドーパント濃度を定量化する手法自体まだ未確立のようですので、簡単に入手できるようなシミュレーションソフトは無いように思います。
他のスレで紹介されていた
http://scholar.google.co.jp/scholar?hl=ja&lr=&cites=13586022338057524930&um=1&ie=UTF-8&ei=RMjbTNCRLomovQOej6jxCQ&sa=X&oi=science_links&ct=sl-citedby&resnum=4&ved=0CCgQzgIwAw
を調べられてみては。

シミュレーション計算を検討されるような観察像が得られていると思いますが、どのようなデバイスを観察されているのでしょうか。よろしければお教え下さい。

>シミュレーション計算を検討されるような観察像が得られていると思いますが、どのようなデバイスを観察されているのでしょうか。よろしければお教え下さい。

主にGaN系、GaAs系などの化合物半導体発光デバイスを観察しています。これらの系ではp/nドーパントをステップドーピングした標準サンプルのデータなどもあります。　TT