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[2272] SEMによるドーパントコントラストの像シミュレーション | 2011-01-14 00:27:21 |
お名前 : TT [ホームページ] | カテゴリー : 【計測分析技術の話題】【計測分析技術】 |
SEMによる半導体のドーパントコントラストをシミュレーションしたいのですが、よいソフトはないでしょうか。 |
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[2273] Re:SEMによるドーパントコントラストの像シミュレーション | 2011-01-15 01:24:49 |
お名前 : SEM使い [ホームページ] | カテゴリー : 【計測分析技術の話題】【計測分析技術】 |
SEM像の輝度からドーパント濃度を定量化する手法自体まだ未確立のようですので、簡単に入手できるようなシミュレーションソフトは無いように思います。 |
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[2274] Re:SEMによるドーパントコントラストの像シミュレーション | 2011-01-31 23:52:17 |
お名前 : SSS [ホームページ] | カテゴリー : 【計測分析技術の話題】【計測分析技術】 |
シミュレーション計算を検討されるような観察像が得られていると思いますが、どのようなデバイスを観察されているのでしょうか。よろしければお教え下さい。 |
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[2275] Re:SEMによるドーパントコントラストの像シミュレーション | 2011-02-01 11:54:09 |
お名前 : TT [ホームページ] | カテゴリー : 【計測分析技術の話題】【計測分析技術】 |
>シミュレーション計算を検討されるような観察像が得られていると思いますが、どのようなデバイスを観察されているのでしょうか。よろしければお教え下さい。 |
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