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[2272] SEMによるドーパントコントラストの像シミュレーション 2011-01-14 00:27:21
お名前 : TT [ホームページ] カテゴリー : 【計測分析技術の話題】【計測分析技術
SEMによる半導体のドーパントコントラストをシミュレーションしたいのですが、よいソフトはないでしょうか。
 
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[2273] Re:SEMによるドーパントコントラストの像シミュレーション 2011-01-15 01:24:49
お名前 : SEM使い [ホームページ] カテゴリー : 【計測分析技術の話題】【計測分析技術
SEM像の輝度からドーパント濃度を定量化する手法自体まだ未確立のようですので、簡単に入手できるようなシミュレーションソフトは無いように思います。
他のスレで紹介されていた
http://scholar.google.co.jp/scholar?hl=ja&lr=&cites=13586022338057524930&um=1&ie=UTF-8&ei=RMjbTNCRLomovQOej6jxCQ&sa=X&oi=science_links&ct=sl-citedby&resnum=4&ved=0CCgQzgIwAw
を調べられてみては。
 
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[2274] Re:SEMによるドーパントコントラストの像シミュレーション 2011-01-31 23:52:17
お名前 : SSS [ホームページ] カテゴリー : 【計測分析技術の話題】【計測分析技術
シミュレーション計算を検討されるような観察像が得られていると思いますが、どのようなデバイスを観察されているのでしょうか。よろしければお教え下さい。
 
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[2275] Re:SEMによるドーパントコントラストの像シミュレーション 2011-02-01 11:54:09
お名前 : TT [ホームページ] カテゴリー : 【計測分析技術の話題】【計測分析技術
>シミュレーション計算を検討されるような観察像が得られていると思いますが、どのようなデバイスを観察されているのでしょうか。よろしければお教え下さい。

主にGaN系、GaAs系などの化合物半導体発光デバイスを観察しています。これらの系ではp/nドーパントをステップドーピングした標準サンプルのデータなどもあります。 TT
 
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