« 戻る | RSS |
[2259] アモルファス膜の応力評価について | 2010-10-15 08:20:42 |
お名前 : 成膜担当者 [ホームページ] | カテゴリー : 【計測分析技術の話題】【計測分析技術】 |
この掲示板にも結晶の応力は記載されていますが、アモルファス膜の応力はどのように評価できるのでしょうか。パターンのない試料ならばウエハのソリで評価できますが、パターンのある試料では測定できないと思います。 |
|
|
response |
|
[2260] Re:アモルファス膜の応力評価について | 2010-10-22 18:32:59 |
お名前 : 堀場製作所/中 庸行 [ホームページ] | カテゴリー : 【計測分析技術の話題】【計測分析技術】 |
アモルファス系の材料の応力評価ですが、まずアモルファス材料の0応力状態がわかればラマン分光などでも可能かもしれません。ただし、アモルファスシリコンのラマンスペクトルは結晶に比べてかなりブロードになり、応力によるピークシフト変化などを正確に捉えることは難しくなります。基本的には困難と言えると思います。 |
|
[2261] Re:アモルファス膜の応力評価について | 2010-11-16 23:06:24 |
お名前 : kawa [ホームページ] | カテゴリー : 【計測分析技術の話題】【計測分析技術】 |
応力が変われば格子振動が変化するので、FTIRで評価できないのでしょうか。そのようなデータを見たことがないので評価できないのではと思うのですが、FTIRでは原理的に測定できないのでしょうか。それともFTIRの測定精度が不十分なのでしょうか。 |
|
[2262] Re:アモルファス膜の応力評価について | 2010-11-20 18:50:25 |
お名前 : XX [ホームページ] | カテゴリー : 【計測分析技術の話題】【計測分析技術】 |
格子間の距離でしたXAFSでは測定できないのでしょか。XAFSでの測定精度はどの程度なのでしょうか? |
|
[2263] Re:アモルファス膜の応力評価について | 2010-11-24 16:44:45 |
お名前 : tt [ホームページ] | カテゴリー : 【計測分析技術の話題】【計測分析技術】 |
FTIRでは、光が透過した領域全ての情報を拾ってしまうので、局所応力の測定には不向きではないかと思います。また、アモルファス膜の応力測定では、そもそも、信号がブロードなため、波数シフトが測定しにくく、さらには、波数シフトの原因がなんなのかを特定するのが困難なので、応力測定に適用するのは難しいかと思います。 |
|
Page : 1 |
|
返信フォーム |
|