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[2246] TEMによる歪み計測(NBDとCBED) | 2011-12-21 15:39:05 |
お名前 : TEM初心者 [ホームページ] | カテゴリー : 【計測分析技術の話題】【計測分析技術】 |
TEMで、半導体等の歪みを計測する方法として、NBDとCBEDがあると思うのですが、この2つは、どのように使い分ければいいのでしょうか。また、この2つを切り替えて同じ場所の歪みを測ることは出来るのでしょうか。 |
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[2247] Re:TEMによる歪み計測(NBDとCBED) | 2011-12-21 16:15:05 |
お名前 : ED-tt [ホームページ] | カテゴリー : 【計測分析技術の話題】【計測分析技術】 |
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