Si基板上に成膜したレジストのような有機薄膜(膜厚〜1μm)に含まれる水分を評価したいです。酸化膜などはTDSで評価していますが、有機膜はTDSで難しいようです。絶対的な量でなくても、試料間の相対的な比較でも良いです。何か良い方法があればお教え下さい。

　ウエハ上に堆積した膜では測定試料の量が少ないかも知れませんが、
下記のような分析手法もあります。
http://www.shimadzu.co.jp/balance/products/p03/moh120.html

　ウエハ上の膜を剥がし取って測定できるかもしれません。

真空中にてガス放出を行わないものであれば、SIMS(二次イオン質量分析法)はどうでしょうか？
H、H2Oが検出出来ますし、相対比較も可能です。
膜厚もnmオーダーで問題ありません。
Si基板に成膜した状態で測定出来ます。