« 戻る | RSS |
[2211] TEM-EELS分析での加速電圧の影響について | 2010-09-04 23:15:05 |
お名前 : TEM担当者 [ホームページ] | カテゴリー : 【計測分析技術の話題】【計測分析技術】 |
TEMでのEELS分析ではTEMの加速電圧がEELS測定の精度に影響するのでしょうか。http://www.tsc-web.jp/forum/index.html?mode=viewmain&l=1&no=26&no2=71&p=1&page=0&dispno=26にもあるように、試料ダメージを考慮すると低い加速電圧の方が有利ですが、EELS測定の精度に影響するのでしょうか。 |
|
|
response |
|
[2212] Re:TEM-EELS分析での加速電圧の影響について | 2010-09-08 10:57:43 |
お名前 : 東レリサーチセンター/FUPET 杉山直之 [メール] [ホームページ] | カテゴリー : 【計測分析技術の話題】【計測分析技術】 |
精度という言葉は非常に守備範囲が広いのでご希望するお答えになっていないかもしれませんが、参考までにお答えします。 |
|
[2214] Re:TEM-EELS分析での加速電圧の影響について | 2010-09-08 14:01:09 |
お名前 : 住化分析センター/山本 悠 [メール] [ホームページ] | カテゴリー : 【計測分析技術の話題】【計測分析技術】 |
EELS分析で加速電圧を上げると、一般的に次のようなことが起こります。 |
|
[2215] Re:TEM-EELS分析での加速電圧の影響について | 2010-09-08 18:41:45 |
お名前 : TEM担当者 [ホームページ] | カテゴリー : 【計測分析技術の話題】【計測分析技術】 |
杉山様、山本様ご丁寧な回答をありがとうございます。 |
|
[2216] Re:TEM-EELS分析での加速電圧の影響について | 2010-09-21 11:21:31 |
お名前 : 東レリサーチセンター/FUPET 杉山直之 [メール] [ホームページ] | カテゴリー : 【計測分析技術の話題】【計測分析技術】 |
回答が遅くなり申し訳ありません。回答いたします。 |
|
[2217] Re:TEM-EELS分析での加速電圧の影響について | 2010-09-11 19:38:21 |
お名前 : EELS超初心者 [ホームページ] | カテゴリー : 【計測分析技術の話題】【計測分析技術】 |
横槍入れてすいません |
|
[2218] 加速電圧と検出角度について | 2010-09-14 09:57:36 |
お名前 : 住化分析センター/山本 悠 [メール] [ホームページ] | カテゴリー : 【計測分析技術の話題】【計測分析技術】 |
ご質問ありがとうございます。 |
|
[2219] Re:TEM-EELS分析での加速電圧の影響について | 2010-09-23 17:05:28 |
お名前 : TEM [ホームページ] | カテゴリー : 【計測分析技術の話題】【計測分析技術】 |
日立ハイテクノロジーズの技術資料(S.I.NEWS 2010 Vol.53 No.2 P35)にEELSのゼロロスピークを用いたエネルギー分解能測定結果として、下記の値が紹介されています。 |
|
[2220] エネルギー半値幅の差について | 2010-09-30 18:16:34 |
お名前 : 住化分析センター/山本 悠 [メール] [ホームページ] | カテゴリー : 【計測分析技術の話題】【計測分析技術】 |
一般的にエネルギー半値幅(エネルギー分解能)が良いほどEELSスペクトル形状を精密に観察することができ、 |
|
[2222] Re:TEM-EELS分析での加速電圧の影響について | 2011-02-23 23:24:19 |
お名前 : EELS勉強中 [ホームページ] | カテゴリー : 【計測分析技術の話題】【計測分析技術】 |
http://iopscience.iop.org/1742-6596/209/1/012031/にある文献「Advantages of low beam energies in a TEM for valence EELS」を読むと、高い加速電圧の方が「relativistic energy losses」などが影響するとあります。「relativistic energy losses」ということをあまり聞いたことがありません。 |
|
[2223] Re:TEM-EELS分析での加速電圧の影響について | 2011-09-28 16:09:24 |
お名前 : hk [ホームページ] | カテゴリー : 【計測分析技術の話題】【計測分析技術】 |
http://iopscience.iop.org/1742-6596/209/1/012031/のAbstractに「relativistic losses」は物質中での電子の速度が物質中での光の速度より遅くなった時に消滅するとあるとおり、高速電子のよるチェレンコフ放射によるロスです。例えばSiの屈折率は約4ですので、Si中の光の速度は真空中の1/4となるので、200keVの入射電子の方がはるかに高速になっています。 |
|
Page : 1 |
|
返信フォーム |
|