[660]Re:イオン顕微鏡モンテ・カルロの活用http://www.tsc-web.jp/forum/index.html?mode=viewmain&l=1&no=650&no2=660&p=&page=0&dispno=650でクラスターイオンの話が出ていますが、Arクラスタ，水クラスタ，C60などはどのような特徴があり、どれが実用的なのでしょうか。

どれが実用的なのかという問いに明確に答えることはで
きません。

製品としていちばん数が出ているのはC60だと思います。
これはアルバックファイさんに問い合わせて頂ければ，
良いかと思います。私的に言えることは有機物の深さ
方向分析を低ダメージでとるのにはC60は良いようです
が金属だとカーバイトを作るのでよくないようです。

Arクラスタもアルバックファイさんから販売されていま
す(元は京都大学だと思います)が，まだ一般に出回って
いないようです。(理由は単純に高いからだと思います。)
イオン銃の大きさはSIMSのイオン銃並にでかいです。
3段階の差動排気と質量選別器(アナライザー)が付いて
いるので仕方ないのかもしれません。

水クラスターは山梨大学と日本電子のグループが報告し
ています。私的には水と超高真空の相性が気にきになり
ます。

また，島津KRATOSは，C24H12を用いた報告をしてい
ます。たぶんC60と同じ感じじゃないかと想像していま
す。

以下に表面分析研究会が主催したiSAS'09の報告が公開
されていますので御興味があれば，ご覧ください。
http://www.sasj.jp/JSA/CONTENTS/vol.16_1/Vol.16%20No.1/Vol.16%20No.1%2064-69.pdf

また，11月10日に刊行予定の表面科学誌の11月号がク
ラスタービームの特集号になるということですので，約
1ヵ月後を乞うご期待ください。京都大学の松尾先生，
山田先生の研究と，山梨大学の平岡先生の研究が記さ
れるようです。

最後に私的にどれが好きかというとArクラスターかなっ
て感じていますが，実際に使ったことはありません。

　表面分析士さん、ご丁寧にありがとうございます。表面科学誌の11月号を楽しみにします。

クラスターイオンの特集号ですが，表面分析研究会が
発行しているJournal of Surface Analysis誌のvol14
No3 (2008)にも特集してあります。
松尾二郎先生(京都大)，眞田則明氏(アルバックファイ)，
飯島善時氏(JEOL)の執筆です。


表面分析研究会は，
http://www.sasj.jp/
を参照してください。

御参考までに。

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　表面科学会員でないので、学会誌がすぐに見れないので教えていただきたいです。

　水クラスターはどのようなメリットがあるのでしょうか。表面分析士さんが懸念されているように、高真空装置で水を使うからにはそれなりのメリットがあるのでしょうか。

水クラスタは，山梨大学の平岡賢三先生(退官された
はず)が中心となりやっています。JEOLのグループが
一緒に動いていましたのでJEOL経由でお話を聞くの
もいいと思います。もしかしたらイオン銃を売って
るかもしれません。
詳細は平岡先生の業績を調べてみるのがいいでしょう。
簡単に水クラスタのメリットといえば，「ダメージが
少ない」「酸素と水素以外ない」ということでしょう
か。私も実際に使ったことはありません。


NIMSの岩井さんが「AES及びXPS装置の発展と展望」
という記事を書いているのでその引用先を見てくださ
い。
http://www.sasj.jp/JSA/CONTENTS/vol.16_2/Vol.16%20No.2/Vol.16%20No.2%20114-126.pdf
ここで引用されている著者の境さんは，山梨大学に席が
あります。(NIMSと兼任)元JEOLの方です。飯島さんは
現在でもJEOLにいらっしゃいます。

お力に慣れれば幸いです。

>また，11月10日に刊行予定の表面科学誌の11月号がク
>ラスタービームの特集号になるということですので，約
>1ヵ月後を乞うご期待ください。京都大学の松尾先生，
>山田先生の研究と，山梨大学の平岡先生の研究が記さ
>れるようです。

　表面科学の会員でないので、同僚に借りて読みました。クラスターイオンを用いたプロセス技術等の研究もあり興味深い内容でした。皆さんにもお勧めします。

お役に立てて光栄です。

表面科学誌のクラスタ特集では，以下の方が半導体
をバックボーンにしていますのでこのHPの読者には
なじみが深いく興味を持って頂いたのだと思います。

松尾先生(昔半導体のエンジニア)
川崎さん(ルネサス)
藤原さん(AIST)共著者の富田さん(東芝)
特集号の担当編集委員の中村さん(富士通)


クラスタイオンはTOF-SIMSの世界でも用いられ
ていて，BiやAuのクラスタが利用されています。

TOF-SIMSはまだ半導体になじみが薄いようです
が。。。

クラスタイオンのSIMSへの応用については，三菱化学
の阿部さんが国際会議(SIMS??)の報告をされている
ので参照ください。
http://www.sasj.jp/JSA/CONTENTS/vol.14_3/Vol.14%20No.3/Vol.14%20No.3%20267-269.pdf

日本質量分析学会（MSSJ）の解説記事http://www.mssj.jp/Japanese/commentary_series/pdf/Paper_AC009.pdfに山梨大学 平岡先生の詳しい説明があります。