技術交流掲示板

« 戻る

RSS

技術交流掲示板

- ナノエレクトロニクス計測分析技術研究会トップへ -

[2062] 局所熱物性測定について	2010-12-26 13:21:11
お名前 : 工程管理 [ホームページ]	カテゴリー : 【計測分析技術の話題】【計測分析技術】
局所熱物性測定でデバイス断面での評価は可能なのでしょうか？膜厚2００ｎｍ程度の薄膜断面を測定したと考えています。
	パスワード :

response

[2063] Re:局所熱物性測定について	2010-12-27 15:12:23
お名前 : ED-NM [ホームページ]	カテゴリー : 【計測分析技術の話題】【計測分析技術】
どのような物性を測定したいのかわかりませんが，いくつかの局所的熱物性評価に関するURLを紹介しておきますので，お役に立てると光栄です。 http://www.nanonet.go.jp/japanese/event/ws/japannano2003/poster/B/B4taketoshi.pdf http://www.kanagawa-iri.go.jp/kitri/kouhou/program/H22/pdf/G-12.pdf http://www.rd.ibaraki.ac.jp/seeds2009/s099.pdf
	パスワード :

[2064] Re:局所熱物性測定について	2010-12-27 16:55:01
お名前 : 工程管理 [ホームページ]	カテゴリー : 【計測分析技術の話題】【計測分析技術】
ご丁寧にありがとうございます。デバイス断面の評価は可能なのでしょうか？
	パスワード :

[2065] Re:局所熱物性測定について	2011-01-05 08:39:14
お名前 : ED-NM [ホームページ]	カテゴリー : 【計測分析技術の話題】【計測分析技術】
実際に測定したことが無いのでデバイス断面に適用できるかどうかについては，判りません。(すいません) ご紹介したHPを元に問い合わせをされたらどうでしょうか？公的機関か評価装置を販売しているメーカーですので，気軽に教えてくれるのではないでしょうか。
	パスワード :

[2066] Re:局所熱物性測定について	2010-12-30 22:36:37
お名前 : 筑舗化 [ホームページ]	カテゴリー : 【計測分析技術の話題】【計測分析技術】
実際に測定したことがないのでデバイス断面が測定できるかは分かりませんが、http://www.therm-info.com/uploads/NanoIR.pdfもあります。
	パスワード :

[2067] Re:局所熱物性測定について	2011-02-18 00:17:03
お名前 : HK [ホームページ]	カテゴリー : 【計測分析技術の話題】【計測分析技術】
デバイス断面で分析できるか分かりませんが、http://www.pico-therm.com/Japanese/01_home.htmlというのもあります。
	パスワード :

Page : 1

返信フォーム

お名前
メールアドレス
ホームページ
設置先
題名
メッセージ	>デバイス断面で分析できるか分かりませんが、http://www.pico-therm.com/Japanese/01_home.htmlというのもあります。 >
	ファイルアップロードは1000kbまで可能です。
ファイル1	ファイル1へ添付可能なファイルは、 .txt .zip .lzh です。
ファイル2	ファイル2へ添付可能なファイルは、 .jpg .gif .png です。
パスワード
解決!!	解決した場合はチェックを入れてください。