>どの程度ビームが拡がるのでしょうか。モンテカルロシミュレーションの計算例などがあれば教えて頂けないでしょうか。
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簡単なモンテカルロシミュレーションソフト(日立の神田さんが作成)がフリーウエアで公開されているので，入手して計算してみたらどうですか？フリーウエアのサイトで簡単に入手できます。
SEMやEPMAを念頭に開発されているのですが使えると思います。
「走査電顕モンテ・カルロ(3.1/95) 1.59/3.02」


またもう少しレベルの高いのは，有償(10万円くらい)で，
「Electron Flight Simulator」
というのがあります。これは条件さえきちんと入れれば発生するX線スペクトルまで表示してくれると思います。これもネットでお試し版が入手できますよ。

御参考までに。