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[2275] Re:SEMによるドーパントコントラストの像シミュレーション 2011-02-01 11:54:09
お名前 : TT [ホームページ] カテゴリー : 【計測分析技術の話題】【計測分析技術
>シミュレーション計算を検討されるような観察像が得られていると思いますが、どのようなデバイスを観察されているのでしょうか。よろしければお教え下さい。

主にGaN系、GaAs系などの化合物半導体発光デバイスを観察しています。これらの系ではp/nドーパントをステップドーピングした標準サンプルのデータなどもあります。 TT
 
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題名 お名前 投稿日付 No. カテゴリー
 SEMによるドーパントコントラストの像シミュレー... TT 2011-01-14 00:27:21 2272 計測分析技術
  └ Re:SEMによるドーパントコントラストの像シミ... SEM使い 2011-01-15 01:24:49 2273  
  └ Re:SEMによるドーパントコントラストの像シミ... SSS 2011-01-31 23:52:17 2274  
    └ Re:SEMによるドーパントコントラストの像シミ... TT 2011-02-01 11:54:09 2275  


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