FTIRでは、光が透過した領域全ての情報を拾ってしまうので、局所応力の測定には不向きではないかと思います。また、アモルファス膜の応力測定では、そもそも、信号がブロードなため、波数シフトが測定しにくく、さらには、波数シフトの原因がなんなのかを特定するのが困難なので、応力測定に適用するのは難しいかと思います。
同様に、XAFSにおいても、平均的な格子間距離を測定することができますが、この値が膜によって違っていたとしても、その原因が何によるのか（組成の違いなのか、構造の違いなのか等）が分からないと、応力評価にはもっていけないので、こちらも難しいのではないでしょうか。