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[2263] Re:アモルファス膜の応力評価について | 2010-11-24 16:44:45 |
お名前 : tt [ホームページ] | カテゴリー : 【計測分析技術の話題】【計測分析技術】 |
FTIRでは、光が透過した領域全ての情報を拾ってしまうので、局所応力の測定には不向きではないかと思います。また、アモルファス膜の応力測定では、そもそも、信号がブロードなため、波数シフトが測定しにくく、さらには、波数シフトの原因がなんなのかを特定するのが困難なので、応力測定に適用するのは難しいかと思います。 |
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題名 | お名前 | 投稿日付 | No. | カテゴリー |
★ アモルファス膜の応力評価について | 成膜担当者 | 2010-10-15 08:20:42 | 2259 | 計測分析技術 |
└ Re:アモルファス膜の応力評価について | 堀場製作所/中 庸行 | 2010-10-22 18:32:59 | 2260 | |
└ Re:アモルファス膜の応力評価について | kawa | 2010-11-16 23:06:24 | 2261 | |
└ Re:アモルファス膜の応力評価について | XX | 2010-11-20 18:50:25 | 2262 | |
└ Re:アモルファス膜の応力評価について | tt | 2010-11-24 16:44:45 | 2263 |
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