« 戻る RSS
技術交流掲示板
- ナノエレクトロニクス計測分析技術研究会トップへ -

[2263] Re:アモルファス膜の応力評価について 2010-11-24 16:44:45
お名前 : tt [ホームページ] カテゴリー : 【計測分析技術の話題】【計測分析技術
FTIRでは、光が透過した領域全ての情報を拾ってしまうので、局所応力の測定には不向きではないかと思います。また、アモルファス膜の応力測定では、そもそも、信号がブロードなため、波数シフトが測定しにくく、さらには、波数シフトの原因がなんなのかを特定するのが困難なので、応力測定に適用するのは難しいかと思います。
同様に、XAFSにおいても、平均的な格子間距離を測定することができますが、この値が膜によって違っていたとしても、その原因が何によるのか(組成の違いなのか、構造の違いなのか等)が分からないと、応力評価にはもっていけないので、こちらも難しいのではないでしょうか。
 
パスワード :


list

題名 お名前 投稿日付 No. カテゴリー
 アモルファス膜の応力評価について 成膜担当者 2010-10-15 08:20:42 2259 計測分析技術
  └ Re:アモルファス膜の応力評価について 堀場製作所/中 庸行 2010-10-22 18:32:59 2260  
    └ Re:アモルファス膜の応力評価について kawa 2010-11-16 23:06:24 2261  
      └ Re:アモルファス膜の応力評価について XX 2010-11-20 18:50:25 2262  
      └ Re:アモルファス膜の応力評価について tt 2010-11-24 16:44:45 2263  


返信フォーム

お名前
メールアドレス
ホームページ
設置先
題名
メッセージ
  ファイルアップロードは1000kbまで可能です。
ファイル1 ファイル1へ添付可能なファイルは、 .txt .zip .lzh です。
ファイル2 ファイル2へ添付可能なファイルは、 .jpg .gif .png です。
パスワード
解決!! 解決した場合はチェックを入れてください。