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[2260] Re:アモルファス膜の応力評価について 2010-10-22 18:32:59
お名前 : 堀場製作所/中 庸行 [ホームページ] カテゴリー : 【計測分析技術の話題】【計測分析技術
アモルファス系の材料の応力評価ですが、まずアモルファス材料の0応力状態がわかればラマン分光などでも可能かもしれません。ただし、アモルファスシリコンのラマンスペクトルは結晶に比べてかなりブロードになり、応力によるピークシフト変化などを正確に捉えることは難しくなります。基本的には困難と言えると思います。
また、一般に半導体デバイスに用いられるようなSiN系の膜はCLスペクトル強度が極めて弱いために(薄膜であることとアモルファス系であること)、応力起因と思われるピークシフト変化を捉えることはSiO2以上に困難です。また、アモルファスシリコンも上記と同じように難しいと思われます。
 
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題名 お名前 投稿日付 No. カテゴリー
 アモルファス膜の応力評価について 成膜担当者 2010-10-15 08:20:42 2259 計測分析技術
  └ Re:アモルファス膜の応力評価について 堀場製作所/中 庸行 2010-10-22 18:32:59 2260  
    └ Re:アモルファス膜の応力評価について kawa 2010-11-16 23:06:24 2261  
      └ Re:アモルファス膜の応力評価について XX 2010-11-20 18:50:25 2262  
      └ Re:アモルファス膜の応力評価について tt 2010-11-24 16:44:45 2263  


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