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[2259] アモルファス膜の応力評価について 2010-10-15 08:20:42
お名前 : 成膜担当者 [ホームページ] カテゴリー : 【計測分析技術の話題】【計測分析技術
 この掲示板にも結晶の応力は記載されていますが、アモルファス膜の応力はどのように評価できるのでしょうか。パターンのない試料ならばウエハのソリで評価できますが、パターンのある試料では測定できないと思います。
 SiO2膜はCLで評価できるようですが(http://www.nedo.go.jp/kankobutsu/focus/23/2-4.pdf)、SiN膜やアモルファスSi膜などもCLで測定できるのでしょうか。また他の評価手法はないのでしょうか。
 
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 アモルファス膜の応力評価について 成膜担当者 2010-10-15 08:20:42 2259 計測分析技術
  └ Re:アモルファス膜の応力評価について 堀場製作所/中 庸行 2010-10-22 18:32:59 2260  
    └ Re:アモルファス膜の応力評価について kawa 2010-11-16 23:06:24 2261  
      └ Re:アモルファス膜の応力評価について XX 2010-11-20 18:50:25 2262  
      └ Re:アモルファス膜の応力評価について tt 2010-11-24 16:44:45 2263  


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