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[2243] Re:有機薄膜中の水分量の評価 2011-12-05 09:40:57
お名前 : SIMS担当 [ホームページ] カテゴリー : 【計測分析技術の話題】【計測分析技術
真空中にてガス放出を行わないものであれば、SIMS(二次イオン質量分析法)はどうでしょうか?
H、H2Oが検出出来ますし、相対比較も可能です。
膜厚もnmオーダーで問題ありません。
Si基板に成膜した状態で測定出来ます。
 
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題名 お名前 投稿日付 No. カテゴリー
 有機薄膜中の水分量の評価 プロセス担当 2011-09-14 14:12:14 2241 計測分析技術
  └ Re:有機薄膜中の水分量の評価 hkk 2011-09-26 13:57:00 2242  
  └ Re:有機薄膜中の水分量の評価 SIMS担当 2011-12-05 09:40:57 2243  


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