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[2242] Re:有機薄膜中の水分量の評価	2011-09-26 13:57:00
お名前 : hkk [ホームページ]	カテゴリー : 【計測分析技術の話題】【計測分析技術】
ウエハ上に堆積した膜では測定試料の量が少ないかも知れませんが、下記のような分析手法もあります。 http://www.shimadzu.co.jp/balance/products/p03/moh120.html 　ウエハ上の膜を剥がし取って測定できるかもしれません。
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題名	お名前	投稿日付	No.	カテゴリー
★ 有機薄膜中の水分量の評価	プロセス担当	2011-09-14 14:12:14	2241	計測分析技術
└ Re:有機薄膜中の水分量の評価	hkk	2011-09-26 13:57:00	2242
└ Re:有機薄膜中の水分量の評価	SIMS担当	2011-12-05 09:40:57	2243

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メッセージ	>　ウエハ上に堆積した膜では測定試料の量が少ないかも知れませんが、 >下記のような分析手法もあります。 >http://www.shimadzu.co.jp/balance/products/p03/moh120.html > >　ウエハ上の膜を剥がし取って測定できるかもしれません。
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