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| [2241] 有機薄膜中の水分量の評価 | 2011-09-14 14:12:14 |
| お名前 : プロセス担当 [ホームページ] | カテゴリー : 【計測分析技術の話題】【計測分析技術】 |
Si基板上に成膜したレジストのような有機薄膜(膜厚〜1μm)に含まれる水分を評価したいです。酸化膜などはTDSで評価していますが、有機膜はTDSで難しいようです。絶対的な量でなくても、試料間の相対的な比較でも良いです。何か良い方法があればお教え下さい。 |
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| 題名 | お名前 | 投稿日付 | No. | カテゴリー |
| ★ 有機薄膜中の水分量の評価 | プロセス担当 | 2011-09-14 14:12:14 | 2241 | 計測分析技術 |
| └ Re:有機薄膜中の水分量の評価 | hkk | 2011-09-26 13:57:00 | 2242 | |
| └ Re:有機薄膜中の水分量の評価 | SIMS担当 | 2011-12-05 09:40:57 | 2243 |
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