ご回答ありがとうございました。

真空の教科書などで言う表面を一層覆う吸着は短時間で起こるが、その程度であれば、XPSでは大きな影響は無いであろうと理解しました。EUPSでは1ML以下の吸着が見えるので、問題になりそうです。裏を返せば、普通のXPSで顕著に見えることは、かなり吸着しているともいえるので、引き続き調査してみます。

今回の現象は、我々の使っている装置固有の問題でもありそうなので、その後、分析室にQ-massを取り付けてモニタしています。今怪しいと思っているのが、クラスタイオン銃(コロネンの昇華)を長時間使った後Arを導入するとイオンポンプからC化合物が出てくる挙動がありそうです。調査結果が出ましたらまた書き込ませていただきます。