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[2214] Re:TEM-EELS分析での加速電圧の影響について 2010-09-08 14:01:09
お名前 : 住化分析センター/山本 悠 [メール] [ホームページ] カテゴリー : 【計測分析技術の話題】【計測分析技術
EELS分析で加速電圧を上げると、一般的に次のようなことが起こります。

 ○非弾性散乱電子の平均自由行程が長くなり、多重散乱が減少する
 ○非弾性散乱角度が小さくなり、相対的に検出角度が大きくなる

これらの結果、厚い試料でも分析が可能になり、空間分解能も向上します。
また、内殻励起吸収端のPeak/Background比が向上するため、微量元素の検出感度も良くなります。

加速電圧を下げた場合のエネルギー分解能ですが、機種によっては若干良くなることもあるようです。
ベルシェ効果(電子間の相互作用によってエネルギーの単色性が劣化する現象)が抑制されるため、というのがその理由のようです。


既に適切な回答がなされていますが、ご参考になれば幸いです。
 
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題名 お名前 投稿日付 No. カテゴリー
 TEM-EELS分析での加速電圧の影響について TEM担当者 2010-09-04 23:15:05 2211 計測分析技術
  └ Re:TEM-EELS分析での加速電圧の影響につ... 東レリサーチセンター/FUPET 杉山直之 2010-09-08 10:57:43 2212  
    └ 削除済み 削除済み 2013-04-23 20:06:29 2213  
  └ Re:TEM-EELS分析での加速電圧の影響につ... 住化分析センター/山本 悠 2010-09-08 14:01:09 2214  
    └ Re:TEM-EELS分析での加速電圧の影響につ... TEM担当者 2010-09-08 18:41:45 2215  
      └ Re:TEM-EELS分析での加速電圧の影響につ... 東レリサーチセンター/FUPET 杉山直之 2010-09-21 11:21:31 2216  
    └ Re:TEM-EELS分析での加速電圧の影響につ... EELS超初心者 2010-09-11 19:38:21 2217  
      └ 加速電圧と検出角度について 住化分析センター/山本 悠 2010-09-14 09:57:36 2218  
    └ Re:TEM-EELS分析での加速電圧の影響につ... TEM 2010-09-23 17:05:28 2219  
      └ エネルギー半値幅の差について 住化分析センター/山本 悠 2010-09-30 18:16:34 2220  
    └ 削除済み 削除済み 2013-04-23 20:06:29 2221  
  └ Re:TEM-EELS分析での加速電圧の影響につ... EELS勉強中 2011-02-23 23:24:19 2222  
    └ Re:TEM-EELS分析での加速電圧の影響につ... hk 2011-09-28 16:09:24 2223  
    └ 削除済み 削除済み 2013-05-07 13:16:53 2224  


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