放射光ではＸ線管球やローターＸ線源と比較して百倍から千倍以上のＸ線強度が得られます。そのため、汎用Ｘ線装置では回折ピークが見えないような薄い膜や小さい試料の測定ではメリットがあります。また、放射光は平行性が良いので、高分解（角度）の測定や、波長が変えられることから測定元素の吸収端を利用するＭＡＤ法による構造解析にも適しています。ただ、利用機会は限られるので、汎用装置で見えるような試料には使う必要は無いでしょう。