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[1513] Re:ピークフィッティング関数について

2010-09-09 07:53:00

お名前 : 表面分析士 [ホームページ]

カテゴリー : 【計測分析技術の話題】【計測分析技術】

AESのピークでもフィッティングできます。
深さプロファイルに因子分析を適用する試みや
LLSでプロファイルを解析する方法はある意味
フィッティングをかけているということになり
ます。要は測定スペクトルをいくつかのスペク
トルに分解してその成分比率を出しているから
です。

問題になるのは，積分型スペクトルの場合，バ
ックグラウンド定義になるので，AESの倍微分し
て因子分析やLLSを適用するのが一般的です。

X線励起のオージェスペクトルを見ると，多くは
複雑な形状をしていますが，その形状を適当な関
数で仮定することができれば，フィッティングが
できます。

私は，SiN/SiO/Sisub.の系で制動放射のX線によっ
て励起されたSi-KLLをガウシアンでピーク分離を
したことがあります。Si2pよりはるかに各成分が
綺麗にセパレートして観測されました。（結合エ
ネルギーがマイナス領域に現われる制動放射X線
によってピークが観測できることを知っている人
も最近は少ないですが）

題名	お名前	投稿日付	No.	カテゴリー
★ ピークフィッティング関数について	kaiseki	2010-09-04 12:42:29	1509	計測分析技術
└ Re:ピークフィッティング関数について	tt	2010-09-07 11:19:54	1510
└ Re:ピークフィッティング関数について	ＸＲＤ	2010-09-08 22:47:14	1511
└ Re:ピークフィッティング関数について	AES	2010-09-09 00:20:01	1512
└ Re:ピークフィッティング関数について	表面分析士	2010-09-09 07:53:00	1513
└ Re:ピークフィッティング関数について	AES	2010-09-09 08:24:54	1514
└ Re:ピークフィッティング関数について	表面分析士	2010-09-09 11:55:14	1515
└ Re:ピークフィッティング関数について	AES	2010-09-10 09:49:33	1516
└ Re:ピークフィッティング関数について	XP	2010-09-10 19:46:23	1517
└ Re:ピークフィッティング関数について	表面分析士	2010-09-11 17:04:48	1518
└ Re:ピークフィッティング関数について	wan	2010-10-22 00:53:16	1519
└ Re:ピークフィッティング関数について	tt	2010-10-23 08:00:49	1520
└ Re:ピークフィッティング関数について	tama	2010-09-30 16:49:10	1521
└ Re:ピークフィッティング関数について	表面分析士	2010-09-30 17:26:44	1522
└ Re:ピークフィッティング関数について	tama	2010-10-02 14:00:19	1523
└ Re:ピークフィッティング関数について	XRD	2010-10-05 23:05:55	1524
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└ Re:ピークフィッティング関数について	表面分析士	2010-11-11 07:56:32	1526
└ Re:ピークフィッティング関数について	表面分析担当	2010-11-11 08:06:42	1527
└ Re:ピークフィッティング関数について	inu	2011-02-01 10:07:20	1528

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メッセージ	>AESのピークでもフィッティングできます。 >深さプロファイルに因子分析を適用する試みや >LLSでプロファイルを解析する方法はある意味 >フィッティングをかけているということになり >ます。要は測定スペクトルをいくつかのスペク >トルに分解してその成分比率を出しているから >です。 > >問題になるのは，積分型スペクトルの場合，バ >ックグラウンド定義になるので，AESの倍微分し >て因子分析やLLSを適用するのが一般的です。 > >X線励起のオージェスペクトルを見ると，多くは >複雑な形状をしていますが，その形状を適当な関 >数で仮定することができれば，フィッティングが >できます。 > >私は，SiN/SiO/Sisub.の系で制動放射のX線によっ >て励起されたSi-KLLをガウシアンでピーク分離を >したことがあります。Si2pよりはるかに各成分が >綺麗にセパレートして観測されました。（結合エ >ネルギーがマイナス領域に現われる制動放射X線 >によってピークが観測できることを知っている人 >も最近は少ないですが） > > >
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