クラスタ−イオンが特集されている表面科学会誌の
11月号に「低加速SEM-EDSを用いた表面解析における超伝導遷移端センサーの優位性」との論文で、マイクロカロリメータについての報告が出ています。
　マイクロカロリメータは10年以上前から、EDSと比較してエネルギー分解能が高い検出器と期待されていましたが、なかなか広く普及していないと思います。
　今回、久しぶりにデータを見たのですが、やはり高いエネルギー分解能は魅力的です。まだ商品化はされていないと思いますが、近々されるようなものでしょうか。それとも何等かの課題があり、商品化などは難しいものなのでしょうか。

スレッドの回答ではありませんが，マイクロカロリメー
タとは何かと思う読者がいらっしゃるのではないかと思
い解説は無いものかとネットサーフィンをしていたら，
JAXAの以下のページにぶつかりましたので紹介します。
http://www.isas.ac.jp/j/special/2008/suzaku/21.shtml

また，以下のページも参考になると思います。
http://www.astro.isas.ac.jp/~tes/index.php?X%C0%FE%A5%DE%A5%A4%A5%AF%A5%ED%A5%AB%A5%ED%A5%EA%A5%E1%A1%BC%A5%BF%A1%BC

また，特集号の著者の一人が属しているSIIさんのHPに
開発中である旨，書かれていますね。
http://www.sii.co.jp/info/mems4.html

現在はZEISSのSEM搭載用のTESシステムとして製品化されております。ご興味があればご連絡頂けると幸いです。

メリットは分かるのですが、
従来の方法と比較したときのデメリットはあるのでしょうか。

実際に測定したことはないですが、デメリットとしては検出器を0.1ケルビン程度まで冷却する必要がある点だと思います。

先に紹介されているページ
・http://www.isas.ac.jp/j/special/2008/suzaku/21.shtml
・http://www.astro.isas.ac.jp/~tes/index.php?X%C0%FE%A5%DE%A5%A4%A5%AF%A5%ED%A5%AB%A5%ED%A5%EA%A5%E1%A1%BC%A5%BF%A1%BC
をご参考下さい。

0.1Kとは液体He温度より低いですね。おどろきです。

　5月16日(月)から開催される日本顕微鏡学会講演会(福岡国際会議場、http://jsm67.umin.jp/)で、カロリメータについての発表があります。16Apm_?1-13「TES型マイクロカロリメータによる元素分析(椎山 謙一､九州大）」です。