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[2136] 薬液中インラインメタルモニター 2011-04-15 07:08:09
お名前 : デバイスメーカー分析担当 [メール] [ホームページ] カテゴリー : 【計測分析技術の話題】【計測分析技術
薬液中の金属不純物をppb(サブppbが理想)レベルでモニターできるインラインメタルモニターを探しております。
以前Metara、Fiamoといったメーカーのものを見たことがあったのですが、今探そうとしてもネット上では情報がみつかりません。
他のメーカー、方式でもかまわないのですが、ご存知の方がいらっしゃいましたらお願いいたします。
 
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[2137] Re:薬液中インラインメタルモニター 2011-04-15 18:14:40
お名前 : 株式会社イアス 川端 [メール] [ホームページ] [F1(.pdf)] カテゴリー : 【計測分析技術の話題】【計測分析技術
弊社ではICP-MSを用いたシステムを販売しております。ご存知のように薬液中の金属不純物はICP-MSでオフライン分析は一般的に行われています。弊社のシステムは、FAB内におけるSC-1, SC-2, DHFの洗浄槽近辺にサンプリングモジュールを設け、毎分約1から2mLの薬液をエアロゾル状にしたものをArガスで移送し、100m離れたところに設置したICP-MSでラインを切り替えて測定するものです。FAB内での長期テストも完了し、韓国の半導体工場に現在設置中です。薬液中の一桁pptレベルの不純物をオンラインで連続モニタリングできます。添付の英語版のカタログを参照ください。

>薬液中の金属不純物をppb(サブppbが理想)レベルでモニターできるインラインメタルモニターを探しております。
>以前Metara、Fiamoといったメーカーのものを見たことがあったのですが、今探そうとしてもネット上では情報がみつかりません。
>他のメーカー、方式でもかまわないのですが、ご存知の方がいらっしゃいましたらお願いいたします。
 
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