薬液中の金属不純物をppb（サブppbが理想)レベルでモニターできるインラインメタルモニターを探しております。
以前Metara、Fiamoといったメーカーのものを見たことがあったのですが、今探そうとしてもネット上では情報がみつかりません。
他のメーカー、方式でもかまわないのですが、ご存知の方がいらっしゃいましたらお願いいたします。

弊社ではICP-MSを用いたシステムを販売しております。ご存知のように薬液中の金属不純物はICP-MSでオフライン分析は一般的に行われています。弊社のシステムは、FAB内におけるSC-1, SC-2, DHFの洗浄槽近辺にサンプリングモジュールを設け、毎分約1から2ｍLの薬液をエアロゾル状にしたものをArガスで移送し、100m離れたところに設置したICP-MSでラインを切り替えて測定するものです。FAB内での長期テストも完了し、韓国の半導体工場に現在設置中です。薬液中の一桁pptレベルの不純物をオンラインで連続モニタリングできます。添付の英語版のカタログを参照ください。

>薬液中の金属不純物をppb（サブppbが理想)レベルでモニターできるインラインメタルモニターを探しております。
>以前Metara、Fiamoといったメーカーのものを見たことがあったのですが、今探そうとしてもネット上では情報がみつかりません。
>他のメーカー、方式でもかまわないのですが、ご存知の方がいらっしゃいましたらお願いいたします。