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[2134] カソードルミネッセンスでの応力測定 2011-04-12 11:26:58
お名前 : CL [ホームページ] カテゴリー : 【計測分析技術の話題】【計測分析技術
カソードルミネッセンス法を用いて、応力を計測すること
ができると聞いたのですが、これは、応力でピーク位置と
かが変化するのでしょうか。
また、空間分解能はどの程度なのでしょうか。
 
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[2135] Re:カソードルミネッセンスでの応力測定 2011-04-13 09:52:30
お名前 : tt [ホームページ] カテゴリー : 【計測分析技術の話題】【計測分析技術
カソードルミネッセンス(CL)を用いて化合物半導体の応力解析をした例が
http://panasonic.co.jp/ptj/v5403/pdf/p0207.pdf
に記載されていますね。
こちらによると、CLのピーク位置が応力によってシフトすることを用いて、応力評価をしています。
空間分解能は、数100nmということで、電子顕微鏡の空間分解能よりは劣ります。これは、2次電子の広がりや、電子線で励起された励起キャリアが拡散して、電子ビームの径よりも広がってしまう等の影響によると思われます。
また、CLのように電子線による励起ですと、光による励起よりも選択則による制限が弱いことが多く、様々なモードを励起することができます。これは、利点であると同時に、選択則を使ってより詳細な情報を取り出すということに関しては、弱点にもなります。
 
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