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技術交流掲示板
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[2130] チップ内での膜厚分布評価 2011-02-18 00:24:55
お名前 : papi [ホームページ] カテゴリー : 【計測分析技術の話題】【計測分析技術
チップ内(3mm□程度)で数100nmオーダの薄膜の膜厚分布をnmの精度で評価したいです。何か良い方法はあるでしょうか。
 
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[2131] Re:チップ内での膜厚分布評価 2011-02-22 16:44:54
お名前 : anonymous [ホームページ] カテゴリー : 【計測分析技術の話題】【計測分析技術
>チップ内(3mm□程度)で数100nmオーダの薄膜の膜厚分布をnmの精度で評価したいです。何か良い方法はあるでしょうか。


数100nmの膜厚では適用が困難ですが、プローブ顕微鏡を応用した誘電体薄膜の測定技術については例えば以下の文献があります。

◆"Characterization of thickness variations of thin dielectric layers at the nanoscale using scanning capacitance microscopy" V. Yanev, M. Rommel, A. J. Bauer, and L. Frey, J. Vac. Sci. Technol. B 29, 01A401 (2011)

◆"Quantitative Nanoscale Dielectric Microscopy of Single-Layer Supported Biomembranes", Laura Fumagalli, Giorgio Ferrari, Marco Sampietro and Gabriel Gomila, Nano Lett., 2009, 9 (4), pp 1604–1608

御参考になれば幸いです。
 
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[2132] Re:チップ内での膜厚分布評価 2011-03-05 00:58:08
お名前 : haru [ホームページ] カテゴリー : 【計測分析技術の話題】【計測分析技術
要望されている空間分解能が分からないですが、http://www.photonic-lattice.com/jp/ME210_1.htmlもあります。
 
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[2133] Re:チップ内での膜厚分布評価 2011-04-12 18:25:47
お名前 : JFEテクノリサーチ株式会社 [ホームページ] カテゴリー : 【計測分析技術の話題】【計測分析技術
papi様

JFEテクノリサーチ(株)と申します。
空間分解能など詰めるべき点はございますが、弊社『膜厚分布測定装置FiDiCa』で測定できる可能性が高いと思います。
詳細は以下をご参照ください。
http://www.jfe-tec.co.jp/product/hikari/FiDiCa.html
よろしくお願い申し上げます。

>チップ内(3mm□程度)で数100nmオーダの薄膜の膜厚分布をnmの精度で評価したいです。何か良い方法はあるでしょうか。
 
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