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カテゴリー	分析手法	収束電子線回折法	カソードルミネッセンス法	光学顕微鏡法	フォトルミネッセンス法	走査透過電子顕微鏡法	透過電子顕微鏡法	X線回折トポグラフ法
元素分析	元素マッピング
元素分析	組成分析				●	●
元素分析	元素分析
元素分析	不純物分析
元素分析	イオン分析
元素分析	分子分析
元素分析	粒子分析
元素分析	分子運動
元素分析	ガス脱離
形状観察	形状観察					●	●	●
形状観察	膜厚	●
形状観察	表面分析			●
形状観察	段差測定			●
形状観察	内部構造観察					●
結晶観察	結晶構造
結晶観察	結晶対称性	●
結晶観察	結晶性		●				●
結晶観察	格子定数
結晶観察	粒界観察						●
結晶観察	結晶欠陥	●	●	●	●	●	●	●
結晶観察	欠陥観察		●
結晶観察	転位密度		●
結晶観察	空孔分析
結晶観察	ダメージ
結晶観察	配向性
結晶観察	結晶方位
結晶観察	密度
結晶観察	歪	●				●
結晶観察	応力
電気特性評価	PNジャンクション位置
電気特性評価	空乏層
電気特性評価	抵抗率分布
電気特性評価	キャリア分析		●
電気特性評価	ホットキャリアの位置
電気特性評価	ポテンシャル
電気特性評価	不良位置特定
電気特性評価	配線欠陥
電気特性評価	閾値電圧
電気特性評価	電気特性
物質特性評価	光学定数
物質特性評価	バンド構造				●
物質特性評価	仕事関数
物質特性評価	化学結合
物質特性評価	電子状態
物質特性評価	発光準位		●
物質特性評価	発光箇所
物質特性評価	再結合中心準位				●
物質特性評価	励起子情報				●
物質特性評価	スピン