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| 形状観察 | 膜厚 | |||
| 形状観察 | 表面分析 | ● | ||
| 形状観察 | 段差測定 | |||
| 形状観察 | 内部構造観察 | |||
| 結晶観察 | 結晶構造 | |||
| 結晶観察 | 結晶対称性 | |||
| 結晶観察 | 結晶性 | ● | ||
| 結晶観察 | 格子定数 | |||
| 結晶観察 | 粒界観察 | ● | ● | ● |
| 結晶観察 | 結晶欠陥 | ● | ||
| 結晶観察 | 欠陥観察 | ● | ||
| 結晶観察 | 転位密度 | |||
| 結晶観察 | 空孔分析 | |||
| 結晶観察 | ダメージ | |||
| 結晶観察 | 配向性 | ● | ||
| 結晶観察 | 結晶方位 | ● | ||
| 結晶観察 | 密度 | |||
| 結晶観察 | 歪 | ● | ||
| 結晶観察 | 応力 | |||
| 電気特性評価 | PNジャンクション位置 | |||
| 電気特性評価 | 空乏層 | |||
| 電気特性評価 | 抵抗率分布 | |||
| 電気特性評価 | キャリア分析 | |||
| 電気特性評価 | ホットキャリアの位置 | |||
| 電気特性評価 | ポテンシャル | |||
| 電気特性評価 | 不良位置特定 | |||
| 電気特性評価 | 配線欠陥 | |||
| 電気特性評価 | 閾値電圧 | |||
| 電気特性評価 | 電気特性 | |||
| 物質特性評価 | 光学定数 | |||
| 物質特性評価 | バンド構造 | |||
| 物質特性評価 | 仕事関数 | |||
| 物質特性評価 | 化学結合 | |||
| 物質特性評価 | 電子状態 | |||
| 物質特性評価 | 発光準位 | |||
| 物質特性評価 | 発光箇所 | |||
| 物質特性評価 | 再結合中心準位 | |||
| 物質特性評価 | 励起子情報 | |||
| 物質特性評価 | スピン |