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カテゴリー 分析手法 電子線後方散乱回折法電子後方散乱パターン 集束イオンビーム法 透過電子顕微鏡法
元素分析 元素マッピング
元素分析 組成分析
元素分析 元素分析
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元素分析 ガス脱離
形状観察 形状観察
形状観察 膜厚
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形状観察 段差測定
形状観察 内部構造観察
結晶観察 結晶構造
結晶観察 結晶対称性
結晶観察 結晶性
結晶観察 格子定数
結晶観察 粒界観察
結晶観察 結晶欠陥
結晶観察 欠陥観察
結晶観察 転位密度
結晶観察 空孔分析
結晶観察 ダメージ
結晶観察 配向性
結晶観察 結晶方位
結晶観察 密度
結晶観察
結晶観察 応力
電気特性評価 PNジャンクション位置
電気特性評価 空乏層
電気特性評価 抵抗率分布
電気特性評価 キャリア分析
電気特性評価 ホットキャリアの位置
電気特性評価 ポテンシャル
電気特性評価 不良位置特定
電気特性評価 配線欠陥
電気特性評価 閾値電圧
電気特性評価 電気特性
物質特性評価 光学定数
物質特性評価 バンド構造
物質特性評価 仕事関数
物質特性評価 化学結合
物質特性評価 電子状態
物質特性評価 発光準位
物質特性評価 発光箇所
物質特性評価 再結合中心準位
物質特性評価 励起子情報
物質特性評価 スピン