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元素分析 | 元素マッピング | ||||||||||||
元素分析 | 組成分析 | ● | |||||||||||
元素分析 | 元素分析 | ||||||||||||
元素分析 | 不純物分析 | ● | |||||||||||
元素分析 | イオン分析 | ||||||||||||
元素分析 | 分子分析 | ||||||||||||
元素分析 | 粒子分析 | ||||||||||||
元素分析 | 分子運動 | ||||||||||||
元素分析 | ガス脱離 | ||||||||||||
形状観察 | 形状観察 | ● | |||||||||||
形状観察 | 膜厚 | ● | ● | ● | |||||||||
形状観察 | 表面分析 | ● | ● | ● | ● | ● | ● | ● | ● | ● | ● | ● | ● |
形状観察 | 段差測定 | ● | ● | ||||||||||
形状観察 | 内部構造観察 | ● | |||||||||||
結晶観察 | 結晶構造 | ● | |||||||||||
結晶観察 | 結晶対称性 | ||||||||||||
結晶観察 | 結晶性 | ||||||||||||
結晶観察 | 格子定数 | ||||||||||||
結晶観察 | 粒界観察 | ● | |||||||||||
結晶観察 | 結晶欠陥 | ● | |||||||||||
結晶観察 | 欠陥観察 | ||||||||||||
結晶観察 | 転位密度 | ||||||||||||
結晶観察 | 空孔分析 | ||||||||||||
結晶観察 | ダメージ | ||||||||||||
結晶観察 | 配向性 | ||||||||||||
結晶観察 | 結晶方位 | ||||||||||||
結晶観察 | 密度 | ● | |||||||||||
結晶観察 | 歪 | ||||||||||||
結晶観察 | 応力 | ||||||||||||
電気特性評価 | PNジャンクション位置 | ||||||||||||
電気特性評価 | 空乏層 | ||||||||||||
電気特性評価 | 抵抗率分布 | ||||||||||||
電気特性評価 | キャリア分析 | ● | |||||||||||
電気特性評価 | ホットキャリアの位置 | ||||||||||||
電気特性評価 | ポテンシャル | ||||||||||||
電気特性評価 | 不良位置特定 | ||||||||||||
電気特性評価 | 配線欠陥 | ||||||||||||
電気特性評価 | 閾値電圧 | ||||||||||||
電気特性評価 | 電気特性 | ||||||||||||
物質特性評価 | 光学定数 | ● | |||||||||||
物質特性評価 | バンド構造 | ● | |||||||||||
物質特性評価 | 仕事関数 | ||||||||||||
物質特性評価 | 化学結合 | ||||||||||||
物質特性評価 | 電子状態 | ||||||||||||
物質特性評価 | 発光準位 | ||||||||||||
物質特性評価 | 発光箇所 | ||||||||||||
物質特性評価 | 再結合中心準位 | ||||||||||||
物質特性評価 | 励起子情報 | ||||||||||||
物質特性評価 | スピン |