( F8 ) プローブ:イオン・原子、 分析対象:形状
分析手法 | 略号 | 分析原理 | 得られる情報 | 分析感度・スペック | 適用例 |
集束イオンビーム法 (Focused Ion Beam) |
FIB | 細く集束したイオンビームを試料表面で走査し、試料をエッチング加工するとともに試料表面の形状を観察 |
・微細エッチング加工 ・表面形状観察 ・結晶粒径評価 |
加工精度:~10nm 観察分解能(イオンビーム):~5nm |
・透過型電子顕微鏡(TEM)や走査型電子顕微鏡(SEM)などの断面/平面観察試料の作製 ・アトムプローブの試料作製 ・マスク修正 ・金属配線の結晶粒観察 |