( C8 ) プローブ:X線、分析対象:形状

分析手法 略号 分析原理 得られる情報 分析感度・スペック 適用例
X線反射率分析法
(X-ray Reflectometry Analysis)
XRR 試料にX線を低角入射させ、反射するX線を測定することによって、試料表面の薄膜構造を分析する ・膜厚
・密度
・表面
・界面粗さ
膜厚:1nm~1000nm
粗さ:<2nm
密度:>1.0g/cm3
・SiGe、SiC膜厚
・High-k/メタルゲート膜厚
・シリサイド膜厚
・キャパシタ絶縁膜膜厚
・強誘電体膜膜厚
・層間絶縁膜密度
・膜厚
・配線層膜厚